射频溅射论文

氮化钛薄膜的钇离子束动态增强沉积

一、钇离子束动态增强沉积氮化钛膜（论文文献综述）董自强[1]（2019）在《强流重离子加速器动态真空效应模拟与实验研究》文中指出重离子加速器是研究原子核结构、核反应机制、宇宙演...